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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主    编:
  • 庄松林
  • 地    址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单    价:
  • 15.00
  • 定    价:
  • 90.00
绝对平面检测方法的研究进展
Research progress of absolute flatness testing
投稿时间:2017-09-04  
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2018.01.013
中文关键词:  光学干涉测量  绝对平面检测  面形精度
英文关键词:optical interferometry  absolute flatness testing  surface accuracy
基金项目:国家重点研发计划项目(2016YFF0101904)
作者单位
黄元申 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093 
吕昊宇 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093 
曾媛 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093 
韩森 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093 
盛斌 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093 
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中文摘要:
      光学平面的干涉检测发展至今,检测精度已经大大提高,而高精度的平面检测很大程度上受限于参考平面的精度,针对参考平面面形对检测结果的影响,利用绝对平面检测方法,通过多次测量以达到消除参考平面偏差的目的。从测量方式和计算方法两个方面分析了不同绝对平面检测方法的原理,介绍了最新发表的相关成果以及研究动态,并对比了检测结果。这些检测方法已经精确到像素级,并通过多种计算方法使得峰谷(PV)值的计算精度大部分达到了λ/100。
英文摘要:
      The detecting precision has been greatly improved with the development of interference detection for optical planes.The deviation of the reference plane is eliminated via multiple measurements of the absolute plane detection for the reason that high-precision plane testing is constrained by the accuracy of the reference plane.The principles of different absolute plane detection methods from two aspects of measurement method and calculation methods are analyzed.The relevant up-to-date achievements and research trends of these method are introduced with the display of their respective testing results.Detection of these methods has been accurate to the pixel level,and through a variety of computational methods to make the PV value of the calculation accuracy of λ/100.
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